刻机运行效率没有后世那么高。不过凋刻十片硅片还是非常地简单的,仅仅只是花了6分钟就将硅片凋刻完毕。
硅片凋刻完毕你以为芯片制作就结束了?
这仅仅还只是一个开始而已,接下来要送硅片去清洗,先把未刻胶清洗干净,清洗硅片需要放入超声波机器里清洗,通过特定频率才能将未刻机清洗干净。
将硅片上未刻胶清洗干净后,还要涂上特制的显影液才行,这样才能看到上面的电路图,随后还要硅片送进刻蚀机进行刻蚀。
刻蚀机技术含量相对低很多,长春光机早就制作出来了,而且已经上市量产了。
刻蚀机的工作原理是通过等离子体物理冲击,将未被光刻胶覆盖的氧化膜和下方的硅片刻蚀掉,形成所谓的鳍式场效应晶体管中的鳍。
刻蚀完的硅片还要再进行一次清洗,把翻盖的光刻胶和杂质清洗干净后,还要送进离子注入机才行,利用高速度高能量的离子束流注入硅片,改变其载离子浓度和导电的类型。
简单点来说这一步相当于给你的武器进行附魔,通过离子注入让硅片变得更强。
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